Banc de lithographie interférentielle

Site de Châlons-en-Champagne

Système comprenant une table optique, un laser et des éléments d'optique. Possibilité d'illuminer un échantillon par un réseau d'interférences de pas allant d'une dizaine de microns à une centaine de nanomètres. Ces interférences permettent de polymériser une résine photosensible préalablement déposée sur l'échantillon et donc, de graver mes microgrilles de même pas que les franges d'interférence.

Banc de lithographie interférentielle