Microscope interférométrique en lumière blanche VEECO NT3300

Site de Châlons-en-Champagne

  • Interféromètre en lumière blanche permettant de mesurer le profil d'une surface réfléchissante avec une résolution verticale de l'ordre de quelques nanomètres.
  • Permet par exemple de numériser les microgrilles gravées par le système de photolithographie (testées avec la petite machine de traction, comme sur la photo) ou de mesurer des états de surfaces de pièces usinées.
Microscope interférométrique en lumière blanche VEECO NT3300